装置構成の自由度の高さはそのままに、性能をアップしながら操作部分のすべてをコンピュータコントロール化した複合表面分析装置です。球面鏡アナライザーによる高速リアルタイムXPSイメージングの空間分解能は1μmに達し、微細領域の化学状態分布を鮮明に視覚化することが可能です。豊富なオプション類により、in-situでの大気非暴露実験や高エネルギーXPS測定などの多彩な用途にお使いいただけます。
●イメージ分解能　1μm
●感度/分解能（分析エリア 700x300μm）
・導体（Ag 3d5/2）650 kcps/0.48 eV
・絶縁物（PET C 1s*）20 kcps/0.68 eV
*PET C 1s 感度：C-Cピーク,
分解能：エステル（0-C=0）ピーク
●オプション
　Mg/Al デュアルX線源、UPS用紫外光源、FEオージェ電子銃、エアセンシティブサンプルトランスポーター、試料加熱冷却機構、触媒反応セル、Arガスクラスター
イオン銃、AgモノクロX線源 ほか