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走査型オージェ電子分光分析装置 PHI 4800

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 高感度・高スループットを実現した最新の走査型オージェ電子分光分析装置です。世界最高感度の達成により、低損傷測定、低電流絶縁物測定、高エネルギー分解能化学状態分析を高いレベルで可能にします。
 また、自動分析の使い易さに定評のあるソフトウェアにより、材料微小部・薄膜深さ方向分析を強力にサポートします。

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営業品目

各種表面分析装置[走査型X線光電子分光分析装置(XPS)、
硬X線光電子分光分析装置(HAXPES)、二次イオン質量分析装置(SIMS)、
走査型オージェ電子分光分析装置(AES)]、各種オプション ほか