先端材料の構造微細化やプロセスの複雑化に伴い、形態観察や元素分析などの評価技術にも高い分解能と精度が求められています。
半導体業界をはじめ、電池・材料分野での透過電子顕微鏡(TEM)用試料作製においては、“高精度”且つ“より薄く”が要求されます。
本製品は、このニーズに応えるために高精度で加工できるFIB(集束イオンビーム加工装置)と高分解能を有するSEM(走査電子顕微鏡)の複合システムです。