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WEB科学機器総覧

日立電界放出形透過電子顕微鏡 HF5000

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空間分解能と傾斜・分析性能を調和した、200 kV収差補正TEM/STEM

0.078 nmのSTEM空間分解能や、高試料傾斜・大立体角EDXを、シングルポールピースで実現しました。
走査透過電子顕微鏡「HD-2700」搭載の日立製球面収差補正器や、その自動補正機能、収差補正SEM像やシンメトリーDual SDDなどの特長を受け継ぐとともに、透過電子顕微鏡HFシリーズで培ってきた技術を結集・融合しました。
ハイエンドユーザーをはじめ幅広いユーザー向けに、サブÅレベルの空間分解能と高分析性能を、より多様な観察・分析手法とともにご提供します。

◎特長
 ■日立製照射系球面収差補正器(自動補正機能付き)を標準搭載
 ■高輝度・高安定コールドFE電子銃を搭載
 ■鏡体や電源等の高安定化による本体性能向上
 ■収差補正SEM/STEM像同時観察と、原子分解能SE像観察
 ■新型サイドエントリー試料ステージ機構、試料ホルダの採用
 ■大立体角EDX*のデュアル対向配置(シンメトリーDual SDD*)に対応
 ■新構造の本体エンクロジャー・カバーを採用
 ■各種日立製高機能ホルダ*をラインアップ
◎仕様
 ■加速電圧
 200 kV、60 kV*
 ■像分解能
 STEM 0.078 nm(ADF-STEM像)
 TEM 0.102 nm(格子像)
 ■倍率
 STEM ×20~×8,000,000
 TEM ×100~×1,500,000

 *オプション

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営業品目

電子顕微鏡,電子顕微鏡周辺装置、走査プローブ顕微鏡、白色干渉顕微鏡、DNAシーケンサ