サブミクロン領域が観察できる高分解能3DマイクロＸ線CTシステムです。高分解能Ｘ線カメラを用い、高分解能なCT撮影と透視動画を得ることができます。また、特性Ｘ線を用いた高出力Ｘ線源を搭載し、吸収差の少ない試料でも高コントラストな画像表示が可能です。高出力Ｘ線源は平行Ｘ線を用い、画像ブレが少なく画像歪の小さな2次元画像透視と高精細CT撮影が可能な光学系を実現しました。複合材料はもちろん、樹脂フィラー、電池材料の開発、製剤開発に貢献できる装置です。
・高い2D・3D空間分解能：高解像度（0.32μm/pixel）のＸ線カメラ搭載
・高コントラスト（密度分解能）：試料・目的に合わせて選択できるＸ線源（Cu/Cr/Mo/W）
・高速測定：高輝度Ｘ線発生装置（1200W）と高感度カメラの組み合わせ