「Ｑシリーズ」卓上型コーティング装置は、ラボ向けに開発された真空製膜装置で、DCマグネトロンスパッタリング（イオンスパッタ）と、抵抗加熱によるカーボン蒸着が行えます。他にも、グロー放電による親水化処理・真空蒸着・アパーチャークリーニングなどの機能を拡張することも可能です。
SEM,TEM,EPMAなどの電子ビーム装置における試料の導電性コーティングや、FIB加工時の保護膜作成、実験レベルでの金属薄膜や電極の製膜など、多目的にご利用頂けます。

● スパッタリング / カーボン蒸着 / マルチの３タイプ
● ＴＭＰ内蔵 高真空仕様
● ハイスループット, 高品位コーティング
● 多種ターゲットに対応
● 大型試料対応モデル / ２元ターゲットモデルも有り
● タッチパネル操作, レシピ作成