走査型オージェ電子分光分析装置 PHI 4800
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高感度・高スループットを実現した最新の走査型オージェ電子分光分析装置です。世界最高感度の達成により、低損傷測定、低電流絶縁物測定、高エネルギー分解能化学状態分析を高いレベルで可能にします。
また、自動分析の使い易さに定評のあるソフトウェアにより、材料微小部・薄膜深さ方向分析を強力にサポートします。
アルバック・ファイ(株)
- 〒253-8522 茅ヶ崎市萩園2500
- TEL 0467-85-6522 FAX 0467-85-9406
- URL https://www.ulvac-phi.com
営業品目
各種表面分析装置[走査型X線光電子分光分析装置(XPS)、 硬X線光電子分光分析装置(HAXPES)、二次イオン質量分析装置(SIMS)、 走査型オージェ電子分光分析装置(AES)]、各種オプション ほか