飛行時間型二次イオン質量分析装置 PHI nanoTOF 3+
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イオン透過特性に優れたトリプルフォーカス静電アナライザー(TRIFT型アナライザー)を継承しつつ、当社XPSで実績のある試料搬送機構を採用、またユニークなイオンビームテクノロジーによる完全ターンキー帯電中和が可能です。絶縁物多試料の連続無人測定を、低ノイズかつ高感度で実現します。さらに、「パラレルイメージングMS/MS」やガスクラスターイオン銃など、目的に応じて多彩なオプションを選択可能な最新鋭のTOF-SIMSです。
【多彩なオプション】
パラレルイメージングMS/MS、アルゴンガスクラスターイオン銃、C60イオン銃、セシウムイオン銃、アルゴン/酸素スパッタイオン銃、試料冷却・加熱機構、試料高温加熱機構、トランスファーベッセル、酸素リーク機構、FIB(Focused Ion Beam)専用銃、FIBソフトウェア、前処理室、各種特殊ホルダー、オフラインデータ処理システム、Static SIMS Library ほか
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- 〒253-8522 茅ヶ崎市萩園2500
- TEL 0467-85-6522 FAX 0467-85-9406
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営業品目
各種表面分析装置[走査型X線光電子分光分析装置(XPS)、 硬X線光電子分光分析装置(HAXPES)、二次イオン質量分析装置(SIMS)、 走査型オージェ電子分光分析装置(AES)]、各種オプション ほか