四重極型質量分析器を搭載した二次イオン質量分析装置です。高透過率の二次イオン光学系の採用により、優れたダイナミックレンジならびに検出下限とともに、様々なイオン入射角度における高感度測定が可能です。
　また、高輝度低エネルギーフローティングイオン銃の採用により、極薄膜の深さ方向分析を高感度・高速で実現します。