超純水製造装置と純水製造装置を一体化し省スペース化を実現した高機能の水道直結式超純水製造装置です。
純水精製方法は、高性能イオン交換樹脂カートリッジを採用しています。
用途に応じて標準型、UVランプ付き、UF膜付き、UVランプおよびUF膜付きをご用意しています。
・最高純度(比抵抗)：18.2MΩ・cm
・TOC(ppb)：≦1、<3、<10
・超純水採水速度：Max.2L/min
・別置きタンク(別売)：30L、60L、100L、　エアベントフィルター、タンク内殺菌用UVランプ付