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小型高真空排気装置 ・真空蒸着装置  VPCシリーズ
\350,000〜3,100,000
本装置は,フレームに,油拡散又はタ
ーボ分子ポンプ・油回転真空ポンプ・
バルブ類・配管等を,組み込んだ小型
高真空排気装置です。また各タイプに
真空蒸着部品を組合わせた真空蒸着装
置シリーズもありますので,お問い合
わせください。
写真は小型高真空排気装置VPC-050 
・高真空排気装置
 VPC-050,VPC-050A空冷自動型
 VPC-250,VPC-400
・真空蒸着装置
 VPC-060,VPC-260,
 VPC-410,VPC-1100
 オプショナルパーツ各種あります
・詳細はカタログをご請求下さい。 

アルバック機工(株)
〒222-8522 神奈川県横浜市港北区新横浜2-7-19(天幸ビル50)
TEL 045-474-2011 FAX 045-474-2010
URL http://www.ulvac-kiko.com
E-Mail kikoinfo@ml.ulvac.com
営業所等
大阪支店 :TEL 06-6453-2621 京都支店:TEL 075-257-4751 名古屋支店:TEL 0586-73-6991
岡崎営業所:TEL 0564-71-6780 埼玉支店:TEL 048-467-9971 西東京支店:TEL 042-549-7651
東京事務所:TEL 03-3517-6834 仙台支店:TEL 022-358-7522 福岡支店 :TEL 092-473-9541

営業品目
油回転真空ポンプ,ダイアフラム型ドライ真空ポンプ,スクロール型ドライ真空ポンプ,
高真空排気装置,真空蒸着装置,スパッタ装置,ポータブルアスピレーター,その他オプション
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A0191020