ターボ分子ポンプ排気システム TPS-50，TPS-220

製品情報

01 理化学機器＞0107 加圧・減圧用装置及びポンプ＞010702 真空・減圧用装置及び真空ポンプ

ターボ分子ポンプ排気システム TPS-50，TPS-220

\1,350,000～2,500,000

本機は，空冷式ターボ分子ポンプを組込んだコンパクトな高真空排気システムです。補助ポンプとして油回転ポンプ及びドライポンプを用意しており，さらにオプション選択により高真空での各種実験・生産プロセスに対応します。水配管工事など不要で扱いやすいシステムです。 ・到達圧力：×10^-5Pa ×10^-3Pa(TPS-50-ZC型) ・ターボポンプ：50L/sec，220L/sec ・吸気口径：VG-65，VG-100 ・所要電力：AC100V15A及び AC100V15A×2 ・補助ポンプにより各々ZA，ZB，ZCの 3タイプがあります。

佐藤真空(株)
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営業所等
大阪営業所：〒579-8013 大阪府東大阪市西石切町3-4-13 　　　　　　TEL 072-981-7241 FAX 072-981-8831

営業品目
油回転真空ポンプ，ドライ真空ポンプ，水封式ポンプ，真空ポンプ用オイルクリーナー，真空計，真空弁， 真空乾燥装置，真空ベーキング炉，真空熱処理炉，真空蒸着装置，高真空排気装置，真空含浸装置

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