本装置は多目的な真空乾燥処理を目的
としてシリーズ化したものです。ポン
プ内蔵型ですので設置スペースもとり
ません。到達圧力は10Paで，測定用ゲ
ージポート付です。制御はPID方式を採
用しています。
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・真空槽：DQ-30P 300×300×300
DQ-40P 400×400×400
DQ-50P 500×500×500
DQ-60P 600×600×600
DQ-80P 800×800×800
DQ-100P 1000×1000×1000
・到達圧力：10Pa
・加熱温度：Max200℃〜600℃ |